青岛晨立电子设备有限公司

产品名称:扩散炉图片/价格/厂家--晨立
产品链接: 手机版链接:扩散炉系列
　　设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
　　设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
　　
　　主要技术指标:
　　炉管数:1~4管
　　配工艺管口径:Φ90~360 mm(3~12英寸)
　　恒温区长度:760~1000 mm±1.0℃(300~800℃)
　　760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
　　单点稳定性:±1.0℃/24h(300~800℃)
　　±0.5℃/24h(800~1280℃)
　　气源路数:7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
　　气体控制:浮子/质量流量计
　　悬臂舟参数:速度:20~1000 mm/min
　　行程:2000 mm
　　定位精度:±1 mm
　　载荷:17 Kg
　　超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)
　　噪音:62dB(A)
　　振动:3μm